金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，中山市易天自动化设备有限公司申请一项名为“种晶圆键合装置”的专利，公开号CN 119133080 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆键合装置，包括洁净棚、承载组件、切膜组件、贴膜组件、键合下腔体组件和键合上腔体组件，承载组件用于承载石英玻璃活动于切膜组件和贴膜组件下方，切膜组件用于对石英玻璃上的胶膜进行切割，贴膜组件用于胶膜与石英玻璃紧密贴附，键合下腔体组件用于放置已贴膜石英玻璃，并驱动已贴膜石英玻璃在键合时进行上升运动，键合上腔体组件用于吸附晶圆，并提供真空环境和下压力，以使键合更紧密。发明提出键合下腔体组件上升、键合上腔体组件下压，并对形成的闭合体进行抽真空处理，有效提高了键合效果；本发明提出石英玻璃贴膜和晶圆键合装置一体化，有效提高了生产效率；本发明提出洁净棚保护整个装置，有效避免装置受污染。